等離子體的分類
        等（děng）離子體分類有多種方法，一般分為自然等離子體（tǐ）和實（shí）驗室等離子體(人（rén）工產生的等離子體)。自然等離（lí）子體廣泛存在（zài）於宇宙（zhòu）中，如太陽、恒星（xīng）係、星雲及地球的電離層（céng）、其附近的閃電、極光等。
實驗室等離子（zǐ）體諸（zhū）如日光（guāng）燈、霓虹燈中的放電（diàn），離速飛（fēi）行（háng）器尾跡，火箭（jiàn）發動機噴射（shè）中的燃氣，等（děng）離子炬中的電弧，氣體激光，激波管中電離氣體，受控核聚變時（shí）產生的高（gāo）溫等離子（zǐ）體，X-射（shè）線、Y-射線和紫外線等（děng）使氣體電離_。均產生人工等離子體。
        (1)按溫度劃分：由於等離子體由重離子(高子和中性粒子)和電子組成，按這兩類粒子溫度不（bú）同，將等離子體可分（fèn）為熱等離子體和冷等離子體（指電（diàn）子溫度高，氣體溫度低的稀薄低氣壓的等離子體）。
在等離子體中，正離（lí）子和電子在電場作用下沿相反方向被加速，電子質置小，速度快，獲得高動能，麵離子從電場獲得的能量小,中性粒（lì）子和原子（zǐ）則不受電場的影響（xiǎng）。電子所得到的能（néng）量，以及（jí）該能置傳遞給分子的途徑(彈性或非彈性（xìng）碰撞〉，與（yǔ）氣體的密度或氣壓有關。在低壓等離（lí）子體中，電子平均自由程大（dà），因而被加速到髙能量(髙溫度）；而高子和分子的動能(溫度低)。在1.33×10⁴  Pa以上時（shí），電（diàn）子的平均自由程小，但由於碰撞次數多，所以電子、分子的動能大體相（xiàng）同。
熱等離子體就是等離子體中重粒子溫度和電子溫度相等，這種熱等離子體又叫平衡等離（lí）子體，熱等離子（zǐ）體可（kě）分為低溫等離子體和高溫等離子體。
所謂低（dī）溫等離子體就是等離子體中的重粒子溫度和電子溫度不相等。一般重（chóng）粒子溫度接（jiē）近常溫，而電子溫度達10³?10⁴ K .這種等離子體又叫非平衡等離子體。
離子滲氮、離子沉積即為低溫等離子體。
         應該指出，不同原子（zǐ）在不同溫度下才能達到相同的電離度。在平衡條件下，溫度在20000K以上，幾乎所有的氣體均高度電離；當處於非平衡狀態時，特別是在低壓稀（xī）薄氣體中放電時，在很低的氣體溫度下就（jiù）可以有顯（xiǎn）著的電離度。
        （2）按電離程度分:按電離程度的（de）大小可將等離子體分為三（sān）類，即:完全電離狀態氣體、部分電（diàn）離狀態氣體和弱（ruò）電（diàn）離狀態（tài）氣體（tǐ）。離子滲氮以及離子沉積的氣體屬於部分電離狀態。整（zhěng）個放電空（kōng）間有良（liáng）好的電導性。
        （3）按放電（diàn）的電源分:可將等離子體分為直流放電和交流放電兩（liǎng）種。交流（liú）放（fàng）電的頻率大
致劃分為:低頻放電3KH_Z 、400KH_Z ； 高頻放電為13.56MH_Z ;微波放（fàng）電為：2.45GH_Z。
        （4）按電極設置方式分：將等離子體分為設（shè）置（zhì）在係統之（zhī）外的無電極（jí）方法和將電（diàn）極設置在係統內的有電極方法。前者（zhě）多（duō）用子高頻放電（diàn）和微波放電等交流法，在反應係統（tǒng）內隻設置等離子體氣體和試樣;後者（zhě）多用於直流（liú）放電，試樣本（běn）身作為一個電極（jí）。